N'ime mmepụta semiconductor, a na-atụ anya na sistemụ nkesa cryogenic ga-eme ihe karịrị naanị ibufe nitrogen mmiri ma ọ bụ argon site n'otu ebe gaa na nke ọzọ. Mmiri ahụ ga-anọgide na-eguzosi ike, dị ọcha, ma na-arụ ọrụ otu oge ruo ebe a na-eji ya. Ọbụna obere obere okpomọkụ nwere ike ibute gas flash, mgbanwe nrụgide, ma ọ bụ mmetọ mmiri nke na-emetụta nkwụsi ike usoro.

Ya merePaịpụ mkpuchi ikukuA na-ejikarị sistemụ eme ihe na semiconductor fabs kama paịpụ e ji ụfụfụ kpuchie. Mgbe ejikọtara ya na nke a na-ejikwa nke ọma, a na-eji ya eme ihe n'ime ihe ndị e ji ígwè rụọ.Sistemụ Mgbapụta Agụụ Na-agbanwe Agbanwe, mkpokọta okpomọkụ nwere ike ịnọ n'okpuru 3 W/m ma na-echekwa nkwụsi ike nke oghere ikuku ogologo oge n'ofe usoro mbufe niile.

Maka ojiji semiconductor, ekwesighi ile mkpuchi vacuum anya dị ka oyi akwa na-anaghị arụ ọrụ gburugburu paịpụ ahụ. Ọ bụ sistemụ okpomọkụ na-arụ ọrụ nke chọrọ arụmọrụ vacuum a na-atụ anya ya na idobe ya ogologo oge. N'ebe nrụpụta chip dị oke mma, ọbụlagodi mmụba ntakịrị na okpomọkụ mmiri mmiri nwere ike ibute ọnọdụ mmiri mmiri abụọ nke na-egbochi sekit oyi, sistemụ nhicha, ma ọ bụ ngwa njikwa usoro.

Ihe Mere Ntapụ Okpomọkụ Ji Dị Mkpa na Sistemụ Semiconductor Cryogenic

Ụdị mbufe okpomọkụ atọ dị mkpa na-emetụta ahịrị mbufe cryogenic ọ bụla:

• radieshon n'ofe oghere annular
• ngagharị gas nke sitere na molekul fọdụrụnụ
• nduzi siri ike site na nkwado na oghere

N'ime imewe nke ọmaPaịpụ mkpuchi ikuku, nrụgide annular na-ebelatakarị n'okpuru 1 × 10⁻⁴ Pa. N'ọkwa vacuum ahụ, molekul gas ndị ọzọ nwere ụzọ efu nke buru ibu karịa oghere annular, nke na-ebelata nnukwu mbugharị okpomọkụ gas.

A na-ejikwa mkpuchi ọtụtụ oyi akwa (MLI) achịkwa mbufe okpomọkụ radieshọn. Ihe mkpuchi ahụ nwere oyi akwa na-agbanwe agbanwe nke foil na-egosipụta ìhè na ihe na-ebelata ike ikuku. Site na njupụta oyi akwa ziri ezi na usoro ntinye, enwere ike ibelata okpomọkụ radieshọn ruo naanị watts ole na ole kwa square mita.

Ụzọ okpomọkụ fọdụrụ na-esikarị na nkwado igwe. Iji belata mmetụta a, a na-ejikarị ihe ndị na-adịghị ebugharị ebugharị dị ka G-10 fiberglass ma ọ bụ Torlon®. Ihe nkwado ndị a ka chọrọ ike igwe zuru oke iji nagide nrụgide okpomọkụ, ịma jijiji, na ibu ala ọma jijiji n'oge ọrụ.

N'ebe dị anya site na mbufe, ọdịiche dị n'etiti mkpuchi oghere na mkpuchi ụfụfụ na-apụta ìhè nke ukwuu. Sistemụ oghere a na-elekọta nke ọma nwere ike ịnọgide na-arụ ọrụ okpomọkụ kwụsiri ike ruo ọtụtụ afọ, ebe mkpuchi ụfụfụ na-amịkọrọ mmiri mmiri site na ikuku nwayọọ nwayọọ. Ozugbo mmiri batara n'usoro mkpuchi ahụ ma kpọnwụọ, arụmọrụ okpomọkụ na-ebelatakarị ka oge na-aga.

Na sistemụ nkesa LN₂ semiconductor bara uru,ọkpọkọ ikuku mkpuchinwere ike ibelata okpomọọkụ nke ukwuu ma e jiri ya tụnyere ahịrị ndị e ji ụfụfụ kpuchie, ọkachasị n'oge dị ogologo n'èzí ma ọ bụ na-arụ ọrụ isi ihe na-aga n'ihu.

Sistemụ Mgbapụta Agụụ Na-agbanwe Agbanwe

Otu nsogbu dị na jaket vacuum static bụ na ịdị mma vacuum nwere ike ibelata nwayọ nwayọ ka afọ na-aga n'ihu n'ihi mfu gas, helium permeation, ma ọ bụ ntapu mmiri dị obere.

Iji dozie nke a, nnukwu dayametaPaịpụ mkpuchi ikukuenwere ike itinye sistemụ naSistemụ Mgbapụta Agụụ Na-agbanwe AgbanweSistemụ a na-agụnyekarị obere nhazi nke ọkpọkọ turbomolecular ma ọ bụ ọkpọkọ mpịakọta nke na-eweghachi oghere annular ka ọ dị na mbụ.

A na-enyocha ọkwa vacuum mgbe niile site na iji ihe nlele oyi-cathode. Pampụ ahụ na-arụ ọrụ naanị mgbe nrụgide gafere ebe a na-atụ anya ya, yabụ oriri ike na ihe achọrọ maka mmezi ka dị obere.

N'otu ọrụ mmezi ụlọ ọrụ semiconductor na Hsinchu, Taiwan, sistemụ mgbapụta ikuku a na-achịkwa nke ọma nyere isi nnyefe LN₂ nke merela agadi aka iweghachite arụmọrụ okpomọkụ dị nso na ọnọdụ ọrụ mbụ ya na-emechighị usoro mmepụta. Maka ọrụ ọhụrụ, mmezi ikuku a na-arụ ọrụ na-enyekwa ndị ọrụ obi ike ka mma na nkwụsi ike mkpuchi ogologo oge n'oge ọrụ sistemụ ahụ.

Nhazi Ihe na Sistemụ

Maka ngwa semiconductor na nke dị ọcha nke ukwuu, a na-ejikarị ígwè anaghị agba nchara 304L ma ọ bụ 316L emepụta paịpụ usoro dị n'ime. A na-asacha, na-ehicha, ma na-eme ka elu dị n'ime dị ọcha iji mezuo ihe achọrọ maka ọrụ nhicha oxygen ma belata ihe egwu mmetọ.

Jaketị mpụta a nwere ike iji ígwè carbon ma ọ bụ ígwè anaghị agba nchara agba agba dabere na ebe etinyere ya. N'ebe dị nso n'ụlọ dị ọcha, a na-ahọrọkarị jaketị mpụta anaghị agba nchara iji zere ire ere ma ọ bụ mmetọ elu.

Ọ dịkwa mkpa ka a tụlee nrụgide okpomọkụ nke ọma. Ahịrị mbufe LN₂ nwere ike ịgbakọ ihe dị ka 2.5–3 mm kwa mita n'etiti okpomọkụ gburugburu na okpomọkụ ọrụ. Iji nabata mmegharị a, a na-etinyekarị ihe mgbakwụnye mgbasa nke ụdị bellows na ebe a gbakọrọ agbakọ na netwọk ọkpọkọ niile.

Ebe ọ dị mkpa ka e megharịa ma ọ bụ gbanwee ihe,Mmanụ akọrọ nke na-agbanwe agbanweA na-ejikarị ihe ndị a na-ejikọta ọnụ eme ihe. Ebe ndị a na-ahụkarị gụnyere njikọ tankị, njikọ ngwaọrụ, alaka dị iche iche, na ihe ndị na-agagharị agagharị.

Paịpụ ndị a na-agbanwe agbanwe na-eji isi ime corrugated yana jaket vacuum na nhazi MLI yiri paịpụ vacuum siri ike. Nhazi ndị e mere nke ọma nwere ike ịnọgide na-enwe ezi ikuku mgbe a gbasasịrị okpomọkụ ugboro ugboro ma na-egbochikwa ịmepụta ice mpụga nke a na-ahụkarị na paịpụ ndị a na-ejikọtaghị ọnụ.

Vaịvụ mkpuchi mkpuchinaNdị Kewapụrụ Oge

Njikwa mmiri ọkụ anaghị ejedebe naanị na ngalaba paịpụ kwụ ọtọ.ndị na-ekewapụ usoroọ na-arụkwa ọrụ dị mkpa n'ịnọgide na-enwe ọnọdụ mmiri na-agbagharị agbagharị nke ọma.

A Valvụ mkpuchi ọkụỌ na-ejikarị ihe mkpuchi agbatị na ahụ nwere ihe mkpuchi ikuku iji gbochie ebe mkpuchi dị mkpa pụọ ​​na oke okpomọkụ dị oke ala. Nke a na-enyere aka igbochi oyi gburugburu ngwugwu osisi ma belata mmiri ozuzo na-achọghị n'ime usoro valvụ ahụ.

Na-enweghị ihe mkpuchi ikuku, valvụ nwere ike ịghọ ebe okpomọkụ na-agbapụta n'ime sistemụ ahụ. N'ọrụ mmiri mmiri cryogenic, nke a nwere ike ibute akpa uzuoku mpaghara, ọnọdụ mmiri na-adịghị agbanwe agbanwe, ma ọ bụ ihe omume hama mmiri.

Maka sistemụ usoro semiconductor, a na-ejikarị valvụ globe agbatịkwuru na valvụ bọọlụ ntinye elu dịka iwu ASME B31.3 na EN 13480 siri dị.

A Ihe nkewa nke na-eme ka a ghara ịcha ọkụA na-eji ya ewepụ gas flash tupu mmiri abanye na ngwaọrụ ndị dị nro. Na ngwa semiconductor, usoro mmiri na-adịghị agbanwe agbanwe nwere ike ime ka nrụgide buru ibu nke ukwuu iji kpalite mkpu usoro ma ọ bụ mkpọchi ngwaọrụ.

Ọtụtụ nhazi nkewa na-eji oghere tangential yana nhazi demister dị n'ime iji melite arụmọrụ nkewa nke uzuoku na mmiri mmiri. N'ọtụtụ ọrụ, a na-ejikọta nkewa ahụ na obere Tank arụnyere n'akụkụ ala usoro ahụ. Obere tankị ahụ na-arụ ọrụ dị ka olu nchekwa mpaghara nke na-enyere aka mee ka mgbanwe ọchịchọ dị mkpirikpi kwụsie ike na-enweghị ibu ọkụ ọzọ dị ukwuu.

Ihe Nlereanya Ọrụ Semiconductor

Ọrụ mgbasawanye ebe DRAM na South Korea chọrọ netwọk nkesa LN₂ ọhụrụ nke na-enye ngwaọrụ nnwale oyi na ngwaọrụ nhazi wafer.

Ntinye ya gụnyere ihe dị ka mita 180 nke Paịpụ siri ike nke Vacuum Insulated nke ejikọtara na ọtụtụ alaka ngwaọrụ site na njikọta Vacuum Insulated Flexible Hose. E tinyere ihe nkewa Vacuum Insulated Phase Separator na obere Tank 2 m³ n'akụkụ ebe nchekwa buru ibu.

Sistemụ Mgbapụta Vacuum Dynamic nọgidere na-enwe nrụgide annular n'okpuru 5 × 10⁻⁶ mbar na ahịrị mbufe nke inch 6 bụ isi.

N'oge ọrụ, a tụrụ mmụba okpomọkụ na isi ihe dị ka 1.3 W/m n'okpuru ọnọdụ ọrụ kwụsiri ike. Mgbe otu afọ nke ọrụ na-aga n'ihu, usoro mgbake ikuku oge niile mere ka arụmọrụ mkpuchi ahụ dị nso na ọnọdụ mbụ.

Ma e jiri ya tụnyere echiche e ji ụfụfụ kpuchie nke gara aga, ụlọ ọrụ ahụ kọrọ na mfu nitrogen mmiri dị ala ma melite nkwụsi ike ọrụ. Ndekọ usoro egosighikwa ihe ọ bụla metụtara mmetọ mmiri metụtara mmebi mkpuchi.

Ngwa

A na-eji usoro nnyefe ihe mkpuchi ikuku eme ihe nke ọma n'imepụta semiconductor, akụrụngwa LNG, nkesa gas ụlọ ọrụ mmepụta ihe, na ngwa hydrogen mmiri mmiri.

Ọ bụ ezie na gburugburu ebe ọrụ dị iche iche, ebumnuche injinia ka bụ otu:

• nọgide na-enwe ike ịkwụsi ike na ikuku
• belata ntinye okpomọkụ
• chekwaa nkwụsi ike nke usoro dum n'oge usoro mbufe ahụ dum

Nhazi sistemụ na-agbasokarị ọkọlọtọ mba ụwa dịka ASME B31.3, EN 13480, na ISO 21029 dabere na oke ọrụ na ihe achọrọ na mpaghara.

Maka ụlọ ọrụ semiconductor, arụmọrụ nke sistemụ nkesa cryogenic na-emetụta arụmọrụ ọrụ, oriri mmiri, na ntụkwasị obi usoro ogologo oge. N'ihi nke a, a ga-ahazi paịpụ, valvụ, ihe nkewa, na sistemụ mmezi vacuum dị ka otu sistemụ okpomọkụ agbakwunyere kama akụkụ ndị nwere onwe ha.

At HL Cryogenics, anyị na ndị ọrụ nkwekọrịta EPC, ụlọ ọrụ gas, na ụlọ ọrụ semiconductor na-arụkọ ọrụ iji mepụta ngwọta mbufe cryogenic dabere na ọnọdụ ọrụ n'ezie, ebumnuche ibu okpomọkụ, na ihe achọrọ maka nrụnye kama nhazi katalọgụ ọkọlọtọ.

Ọ bụrụ na ị na-eme atụmatụ maka ọrụ ọhụrụ nke semiconductor fab ma ọ bụ ịkwalite netwọk nkesa LN₂ dị ugbu a, ndị otu injinia anyị nwere ike inyere aka nyochaa arụmọrụ mwepụ okpomọkụ, atụmatụ ikuku, na nhazi sistemụ maka ọrụ ogologo oge.