Molecular beam epitaxy, ma ọ bụ MBE, bụ usoro ọhụrụ maka itolite ihe nkiri kristal dị mkpa dị elu na mkpụrụ kristal. Na ultra-elu agụụ ọnọdụ, site kpo oku stovu na-onwem na ụdị nile nke chọrọ components na n'ịwa uzuoku, site oghere kpụrụ mgbe collimating doo atomiki ma ọ bụ molekụla doo, kpọmkwem injection ka kwesịrị ekwesị okpomọkụ nke otu crystal mkpụrụ, ịchịkwa molekul doo ka. na mkpụrụ osisi scanning n'otu oge ahụ, ọ nwere ike ime ka ụmụ irighiri ma ọ bụ atọm na crystal itinye n'ígwé n'ígwé na-etolite a mkpa film on a mkpụrụ "uto".

Maka ịrụ ọrụ nkịtị nke ngwa MBE, ịdị ọcha dị elu, obere nrụgide na nitrogen mmiri mmiri dị ọcha chọrọ ka a na-aga n'ihu ma na-ebuga ya n'ọnụ ụlọ jụrụ oyi nke akụrụngwa. N'ozuzu, a tank na-enye mmiri mmiri nitrogen nwere mmepụta nrụgide n'etiti 0.3MPa na 0.8MPa. Liquid nitrogen na -196 ℃ na-adị mfe vaporized n'ime nitrogen n'oge pipeline njem. Ozugbo mmiri mmiri nitrogen nwere ihe dị ka 1: 700 gasified na pipeline, ọ ga-eburu nnukwu mmiri mmiri nitrogen na-asọba ma belata nkwụsị nkịtị na njedebe nke pipeline nitrogen mmiri mmiri. Tụkwasị na nke ahụ, na tankị nchekwa mmiri nitrogen, ọ ga-abụ na a ga-enwe ihe mkpofu na-adịghị ọcha. N'ime pipeline nitrogen mmiri mmiri, ịdị adị nke ikuku mmiri ga-edugakwa na ọgbọ nke ice slag. Ọ bụrụ na etinyere adịghị ọcha ndị a n'ime akụrụngwa, ọ ga-emebi akụrụngwa na-enweghị atụ.

Ya mere, a na-ebufe nitrogen mmiri mmiri na tankị nchekwa n'èzí na ngwá ọrụ MBE na ụlọ ọrụ na-enweghị uzuzu na-arụ ọrụ dị elu, nkwụsi ike na ịdị ọcha, na nrụgide dị ala, ọ dịghị nitrogen, enweghị adịghị ọcha, awa 24 adịghị akwụsị akwụsị, usoro nchịkwa njem dị otú ahụ bụ. ngwaahịa ruru eru.