Teknụzụ
MBE, ma ọ bụ MBE, bụ usoro ọhụrụ maka ịkụ mkpụrụ kristal dị gịrịgịrị dị elu na ihe ndị e ji kristal mee. N'ọnọdụ ikuku dị elu nke ukwuu, site na stovu ọkụ, e nwere ụdị ihe niile dị mkpa ma na-emepụta uzuoku, site na oghere ndị e mepụtara mgbe ha gbasasịrị oghere atọm ma ọ bụ molekul, a na-agba ya ozugbo na okpomọkụ kwesịrị ekwesị nke otu kristal substrate, na-achịkwa oghere molekul na nyocha substrate n'otu oge, ọ nwere ike ime ka mkpụrụ ndụ ma ọ bụ atọm dị na oyi akwa nhazi kristal mepụta fim dị gịrịgịrị na "uto" nke substrate.
Maka ọrụ nkịtị nke akụrụngwa MBE, a chọrọ ka e bufee nitrogen dị ọcha, obere nrụgide na mmiri dị ọcha nke ukwuu n'oge niile ma kwụsie ike na ụlọ oyi nke akụrụngwa ahụ. N'ozuzu, tankị nke na-enye nitrogen mmiri nwere nrụgide mmepụta n'etiti 0.3MPa na 0.8MPa. A na-eme ka nitrogen mmiri dị na -196℃ dị ngwa ngwa ka ọ ghọọ nitrogen n'oge njem pipeline. Ozugbo e tinyere nitrogen mmiri mmiri nwere oke gas-liquid nke ihe dị ka 1:700 na pipeline ahụ, ọ ga-ejide nnukwu oghere mmiri nitrogen mmiri ma belata mmiri nkịtị na njedebe nke pipeline nitrogen mmiri mmiri. Na mgbakwunye, na tankị nchekwa nitrogen mmiri mmiri, enwere ike ịnwe ihe mkpofu nke a na-ehichabeghị. Na pipeline nitrogen mmiri mmiri, ịdị adị nke ikuku mmiri ga-edugakwa na mmepụta nke ice slag. Ọ bụrụ na a wụpụ ihe ndị a na akụrụngwa ahụ, ọ ga-emebi akụrụngwa ahụ nke a na-atụghị anya ya.
Ya mere, a na-ebuga nitrogen mmiri dị n'ime tankị nchekwa dị n'èzí gaa na ngwaọrụ MBE n'ebe a na-arụ ọrụ na-enweghị uzuzu, na-arụ ọrụ nke ọma, kwụsie ike ma dị ọcha, yana obere nrụgide, enweghị nitrogen, enweghị ihe ruru unyi, awa 24 na-enweghị nkwụsịtụ, usoro njikwa njem dị otú ahụ bụ ngwaahịa ruru eru.
Ngwa MBE dakọtara
Kemgbe afọ 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) anọwo na-emeziwanye ma na-emeziwanye usoro a ma na-arụkọ ọrụ na ndị na-emepụta ngwa MBE mba ụwa. Ndị na-emepụta ngwa MBE, gụnyere DCA, REBER, nwere mmekọrịta mmekorita na ụlọ ọrụ anyị. Ndị na-emepụta ngwa MBE, gụnyere DCA na REBER, arụkọla ọrụ ọnụ n'ọtụtụ ọrụ.
Riber SA bụ ụlọ ọrụ na-enye ngwaahịa molekul beam epitaxy (MBE) na ọrụ ndị metụtara ya maka nyocha semiconductor compound na ngwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Ngwaọrụ Riber MBE nwere ike itinye akwa ihe dị gịrịgịrị n'elu ihe ahụ, yana njikwa dị elu. Ngwa oghere nke HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) nwere Riber SA. Ngwa kachasị bụ Riber 6000, nke kacha nta bụ Compact 21. Ọ dị mma ma ndị ahịa amatala ya.
DCA bụ oxide MBE kachasị elu n'ụwa. Kemgbe afọ 1993, a na-eme mmepe usoro nke usoro oxidation, ikpo ọkụ antioxidant substrate na isi mmalite antioxidant. N'ihi nke a, ọtụtụ ụlọ nyocha ndị isi ahọrọla teknụzụ DCA oxide. A na-eji sistemụ MBE semiconductor composite gburugburu ụwa. Sistemụ VJ mmiri nitrogen circulating nke HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) na akụrụngwa MBE nke ọtụtụ ụdị DCA nwere ahụmịhe dakọtara na ọtụtụ ọrụ, dịka ụdị P600, R450, SGC800 wdg.
Tebụl Arụmọrụ
| Ụlọ Akwụkwọ Nkà na ụzụ nke Shanghai, Ụlọ Akwụkwọ Sayensị nke China |
| Ụlọ Ọrụ Teknụzụ Eletrọniki nke 11 nke China |
| Ụlọ Ọrụ nke Semiconductors, Ụlọ Akwụkwọ Sayensị nke China |
| Huawei |
| Ụlọ Akwụkwọ Damo Alibaba |
| Ụlọ ọrụ Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbright Photonics |
Oge ozi: Mee-26-2021