Ụlọ ọrụ semiconductor adịghị akwụsịlata, ma ka ọ na-etolite, ihe ndị a chọrọ na usoro nkesa cryogenic na-arị elu-karịsịa ma a bịa n'ihe gbasara mmiri mmiri nitrogen. Ma ọ na-eme ka ndị na-emepụta wafer dị jụụ, igwe lithography na-arụ ọrụ, ma ọ bụ ijikwa ule dị elu, usoro ndị a kwesịrị ịrụ ọrụ na-enweghị ntụpọ. Na HL Cryogenics, anyị na-elekwasị anya n'ichepụta ihe ngwọta siri ike, nke a pụrụ ịdabere na ya, nke na-eme ka ihe kwụsie ike na nke ọma, na-enweghị ihe ọ bụla na-ekpo ọkụ ma ọ bụ ịma jijiji. Usoro anyị -Vacuum mkpuchi ọkpọkọ, Hose na-agbanwe agbanwe, Sistemụ mgbapụta Vacuum dị ike, Valve mkpuchi, naNkewa nke usoro- na-etolite ọkpụkpụ azụ nke ọkpọkọ cryogenic maka ihe ọ bụla site na ụlọ ọrụ mgbawa na ụlọ nyocha na mbara igwe, ụlọ ọgwụ na ọdụ LNG.
N'ime osisi semiconductor, nitrogen mmiri mmiri (LN₂) na-agba ọsọ n'akwụsịghị akwụsị. Ọ na-edobe okpomoku ka ọ kwụ ọtọ maka ngwaọrụ dị oke egwu dị ka sistemu fotolithography, pọmpụ cryo-pumps, ụlọ plasma, na ihe nleba anya ujo. Ọbụlagodi ntakịrị mgbakasị ahụ n'ọkwa cryogenic nwere ike mebie mkpụrụ, nkwụsi ike, ma ọ bụ ogologo ndụ akụrụngwa dị oke ọnụ. Ọ bụ ebe anyịVacuum mkpuchi ọkpọkọna-abata: anyị na-eji mkpuchi multilayer, oghere miri emi, na nkwado siri ike iji gbuchapụ ntapu okpomọkụ. Nke a pụtara na ọkpọkọ na-eme ka ọnọdụ dị n'ime ya sie ike, ọbụlagodi mgbe ọ na-achọ spikes, na ọnụ ahịa obụpde na-adị ala karịa ahịrị mkpuchi mkpuchi ụlọ akwụkwọ ochie. Site na njikwa agụụ siri ike yana njikwa ọkụ nke ọma, ọkpọkọ anyị na-ebuga LN₂ kpọmkwem mgbe na ebe ọ dị mkpa-ọ dịghị ihe ijuanya.
Mgbe ụfọdụ, ị ga-achọ sistemu ahụ ka ọ gbadaa ma ọ bụ tụgharịa-ikekwe na ntinye ngwa ngwa, na mpaghara ịma jijiji, ma ọ bụ ebe akụrụngwa na-agagharị. Nke ahụ bụ ihe anyịVacuum Mkpuchi Mgbanwe Hose bụ maka. Ọ na-enye otu nchekwa ọkụ mana ọ na-enye gị ohere ịgbada ma wụnye ngwa ngwa, n'ihi igwe anaghị agba nchara na-egbuke egbuke, mkpuchi na-egbuke egbuke, na jaket mechiri emechi. N'ime ime ụlọ dị ọcha, eriri a na-edobe ụmụ irighiri ihe, na-egbochi mmiri, ma na-edobe ya ọbụlagodi ma ọ bụrụ na ị na-emegharị ngwaọrụ mgbe niile. Site na ijikọ ọkpọkọ siri ike na eriri na-agbanwe agbanwe, ị ga-enweta sistemu nke siri ike yana mgbanwe.
Iji mee ka netwọkụ cryogenic na-arụ ọrụ na oke arụmọrụ, anyị na-eji nke anyịSistemụ mgbapụta Vacuum dị ike. Ọ na-eleba anya na ọkwa agụụ ma na-echekwa ha n'ofe nhazi ahụ. Ka oge na-aga, ihe mkpuchi ikuku na-ejide n'ụzọ nkịtị na ikuku ikuku sitere na ihe na welds; ọ bụrụ na ị hapụ ya ka ọ slide, mkpuchi na-akụda, okpomọkụ na-abanye na ya, ị ga-ejedebe na-ere ọkụ site na LN₂ ọzọ. Usoro mgbapụta anyị na-eme ka oghere ahụ sie ike, ya mere mkpuchi na-adị irè ma gia na-adịru ogologo oge - nnukwu azụmahịa maka fabs na-agba ọsọ oge niile, ebe ọbụna obere mgbanwe okpomọkụ nwere ike ịtụfu mmepụta.
Maka njikwa mmiri nke ọma, Vacuum anyịValve mkpuchiAnyị na-ekepụta ha site na iji ọkụ ọkụ dị oke ala, akara a na-anwale helium, yana ọwa mmiri na-ebelata ọgbaghara na mfu nrụgide. Ahụ valvụ ahụ na-anọkọ ọnụ nke ọma, yabụ enweghị ntu oyi, ha na-arụkwa ọrụ nke ọma ọbụlagodi mgbe ị na-emeghe ma na-emechi ha ngwa ngwa. N'ebe ndị nwere mmetụta dị ka ikuku ikuku ma ọ bụ cryotherapy, nke a pụtara mmetọ efu na enweghị nsogbu iru mmiri.
Ihe mkpuchi Vacuum anyịNkewa nke usorona-eme ka nrụgide mgbada na-aga n'ihu ma kwụsị mgbanwe ikuku-gas. Ọ na-ejikwa nguzozi nke oge LN₂ site n'ikwe ka ikuku na-achịkwa ikuku n'ime ụlọ a na-ekpuchi oghere, yabụ naanị mmiri dị elu na-eme ka ọ bụrụ akụrụngwa. N'ime mgbawa mgbawa, nke a na-egbochi mgbanwe okpomọkụ nke nwere ike ịgbaghara na nhazi wafer ma ọ bụ etching. Na ụlọ nyocha, ọ na-eme ka nnwale na-agbanwe agbanwe; na ọdụ LNG, ọ na-eme ka nchekwa dịkwuo elu site n'ịbelata nkwụsịtụ na-achọghị.
Site n'ịchịkọta ọnụVacuum mkpuchi ọkpọkọ,Hose na-agbanwe agbanwe,Sistemụ mgbapụta Vacuum dị ike,Valve mkpuchi, naNkewa nke usoroN'ime otu usoro, HL Cryogenics na-enye gị nhazi mbufe cryogenic nke siri ike, ike na-arụ ọrụ nke ọma na ntụkwasị obi. Sistemu ndị a na-ebelata ọnụ ahịa ọrụ site n'ịbelata ụkọ nitrogen mmiri mmiri, kwalite nchekwa site na idebe condensation n'èzí, ma na-arụ ọrụ na-aga n'ihu-ọbụlagodi mgbe nrụgide dị.
Oge nzipu: Nov-19-2025